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白光干涉薄膜厚度測(cè)量?jī)x
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白光干涉薄膜厚度測(cè)試儀
更新時(shí)間:
2023-06-29
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白光干涉薄膜厚度測(cè)試儀,TF200根據(jù)反射回來(lái)的干涉光,用反復(fù)校準(zhǔn)的算法快速反演計(jì)算出薄膜的厚度。測(cè)量范圍1nm-3mm,可同時(shí)完成多層膜厚的測(cè)試。對(duì)于100nm以上的薄膜,還可以測(cè)量n和k值。
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